ໃນເວລາທີ່ອຸດສາຫະກຳເຊມີຄອນດັກເຕີ ກຳລັງເຕີບໂຕ, ວິທີທີ່ເຄື່ອງປັບອາກາດອຸດສາຫະກຳກາຍເປັນຜູ້ຊະນະທີ່ຊ່ອນຢູ່ນີ້ແມ່ນແນວໃດ?

ໃນການຜະລິດເຊມີຄອນດູເຕີ ອັດຕາການຜະລິດຊິບຂຶ້ນກັບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການແທກແທງ ແລະ ຄວາມສະຖຽນຂອງນ້ຳເຢັນທີ່ ±0.1°C. ເຄື່ອງປັບອາກາດອຸດສາຫະກຳ ເປັນອຸປະກອນເຢັນຂະບວນການທີ່ສຳຄັນ ເຊິ່ງຄວບຄຸມ "ເສັ້ນຊີວິດດ້ານອຸນຫະພູມ" ນີ້ ແລະ ກຳລັງປ່ຽນຈາກບົດບາດທີ່ຊ່ວຍສະໜັບສະໜູນ ໄປເປັນປັດໄຈຫຼັກທີ່ກຳນົດອັດຕາການຜະລິດ.

I. ເປັນຫຍັງເຄື່ອງປັບອາກາດທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສູງຈຶ່ງຈຳເປັນຢ່າງຍິ່ງ

ໃນຂະນະທີ່ປຸງແຕ່ງວີເຟີ ອຸປະກອນ CVD, ການກັດເຄື່ອງ, ການຝັງອີອົນ ແລະ ການແທກແທງ ຈະປ່ອຍຄວາມຮ້ອນອອກມາຫຼາຍ. ການເຢັນທີ່ບໍ່ສະຖຽນຈະເຮັດໃຫ້ຂະບວນການເລີ່ມເບິ່ງເຄີຍ ແລະ ສູນເສຍອັດຕາການຜະລິດ.

- ການກັດເຄື່ອງແລະການຝັງໄອອອນ: ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມເຮັດໃຫ້ອັດຕາການກັດເຄື່ອງບໍ່ຖືກຕ້ອງ ຫຼື ຄວາມເລິກຂອງການຝັງໄອອອນບໍ່ເທົ່າທຽນກັນ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ເກີດການທຳລາຍຈານເຊີລີກ.

- ການຖ່າຍຮູບແລະການສະແດງ: ເຄື່ອງເຢັນຕ້ອງສະໜອງນ້ຳເຢັນທີ່ມີຄວາມແທ້ຈິງ ±0.1°C ເພື່ອຮັກສາຄວາມສະຖຽນຂອງເລນສ໌ ແລະ ແຫຼ່ງແສງ, ເພື່ອປ້ອງກັນການເຄື່ອນທີ່ທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງຈາກການຂະຫຍາຍຕົວເນື່ອງຈາກຄວາມຮ້ອນ.

- ການປັບປຸງດ້ວຍເລເຊີແລະການຕັດດ້ວຍເລເຊີ: ອຸນຫະພູມຂອງນ້ຳມີຜົນຕໍ່ຄວາມຍາວຂອງຄື່ມເລເຊີ ແລະ ພະລັງງານອັດຕາການສົ່ງອອກ; ເຄື່ອງເຢັນທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສູງຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງດຳນ້ຳເລເຊີທີ່ສະເໝືອນກັນ.

II. ການນຳໃຊ້ຫຼັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຜະລິດເຊີລີກ

ເຄື່ອງເຢັນທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳຄອບຄຸມທັງໝົດຂອງຂະບວນການຜະລິດ, ເລີ່ມຈາກການຜະລິດສ່ວນໜ້າ (front-end) ຈົນເຖິງການຫໍ່ຫຸ້ມ ແລະ ການທົດສອບສ່ວນທ້າຍ (back-end).

ອຸປະກອນສ່ວນໜ້າ:

- ລະບົບກັດເຄື່ອງ

- ລະບົບການຝັງໄອອອນ

- ເຄື່ອງປຸງແຕ່ງຈານດຽວ

- ອຸປະກອນ CVD/PVD

ອຸປະກອນດ້ານຫຼັງ:

- ເຄື່ອງສຳຫຼັບການສຳຫຼວດ

- ການຈັດການອຸນຫະພູມຂອງເຄື່ອງພິມ

- ຈຸດທີ່ໃຊ້ສຳຫຼວດແລະເຄື່ອງທົດສອບ

- ການເຢັນແຖວການຫຸ້ມຫໍ່

ເຄື່ອງເຢັນຍັງເປັນສິ່ງສຳຄັນຫຼາຍໃນການຜະລິດ LED, MEMS ແລະອຸປະກອນໄຟຟ້າ.

III. ຂໍ້ຄວນພິຈາລະນາໃນການເລືອກ

ການຜະລິດເຊມີເຄີເຕີເຮັດໃຫ້ຕ້ອງການຄວາມເຊື່ອຖືໄດ້ຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ຄວາມຖືກຕ້ອງທີ່ສູງເຖິງຂີດສຸດ ແລະ ຄວາມສະອາດເລີຍ.

ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ: ຕ້ອງການຢູ່ໃນຊ່ວງ ±0.1°C ເຖິງ ±0.5°C; ເຄື່ອງທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງທົ່ວໄປທີ່ ±1°C ບໍ່ເໝາະສົມ.

ຄວາມສາມາດໃນການເຢັນ: ຄຳນວນໂດຍອີງໃສ່ພະລັງງານຄວາມຮ້ອນ ແລະ ໃຫ້ຄວາມຈຸເພີ່ມເຕີມ 10%-20% ເພື່ອປ້ອງກັນການເຮັດວຽກຫຼາຍເກີນໄປຂອງຄອມເປີເຕີ.

ວັດຖຸ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງນ້ຳ: ທໍ່ທີ່ເຮັດຈາກສະແຕນເລດທີ່ຕ້ານການກັດກິນໄດ້ ພ້ອມດ້ວຍລະບົບເຕີມຂອງຫຼືວຽກງານອັດຕະໂນມັດ ແລະ ລະບົບຕິດຕາມຄຸນນະພາບນ້ຳເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປືືອນຂອງວີເຟີ.

ໂປໂຕຄອນການສື່ສານ: ສະຫັບສົ່ນກັບ ModBus-485, Ethernet/IP ເພື່ອການເຊື່ອມຕໍ່ກັບ MES ແລະ ການຕິດຕາມຈາກໄລຍະໄກ.

ຄວາມສະອາດ ແລະ ລະດັບສຽງ: ພື້ນຜິວທີ່ເໝາະສົມກັບຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນ ແລະ ລະດັບສຽງທີ່ຄວບຄຸມໄດ້.

IV. ການປຽບທຽບປະເພດເຄື່ອງເຢັນ

ແນວໂນ້ມອຸດສາຫະກຳ ວີ

ເມື່ອຂະໜາດຂອງຂະບວນການຫຼຸດລົງ ຄວາມຕ້ອງການການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຈະເຂັ້ມງວດຂຶ້ນ. ຊ່ວງເວລາທີ່ຈະປ່ຽນແທນເຄື່ອງເຢັນຄວາມຖືກຕ້ອງສູງທີ່ຜະລິດໃນປະເທດຈຶ່ງເຂົ້າສູ່ຈຸດທີ່ສຳຄັນ.

ໃນດ້ານພະລັງງານ ລະບົບການເຢັນເປັນສ່ວນໃຫຍ່ຂອງການໃຊ້ພະລັງງານໃນ fab. ເຄື່ອງຂັບເຄື່ອນຄວາມຖີ່ປ່ຽນແປງໄດ້ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີການເຢັນດ້ວຍອາກາດແມ່ນກຳລັງໄດ້ຮັບຄວາມນິຍົມ.

ໃນດ້ານປັນຍາຈຳລອງ ເຄື່ອງເຢັນທີ່ມີລະບົບບໍາຮຸງລ່ວມທັງການທຳนาย, ການເພີ່ມປະສິດທິພາບດ້ວຍ AI, ແລະ ການດຳເນີນງານແລະບໍາຮຸງຮັກສາທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ເຄືອຂ່າຍຄລາວດ໌ ແມ່ນກາຍເປັນມາດຕະຖານສຳລັບແຖວ fab ໃໝ່.

VI. ປົກກະຕິ

ເຖິງແມ່ນວ່າເຄື່ອງເຢັນຈະບໍ່ມີສ່ວນຮ່ວມໂດຍກົງໃນການຖ່າຍທອດຮູບແບບ ຫຼື ການປ່ຽນແປງວັດຖຸ ແຕ່ມັນປ້ອງກັນຄວາມສະຖຽນຂອງຂະບວນການ ແລະ ອັດຕາຜະລິດຢ່າງເງີບໆ ດ້ວຍການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ. ພາຍໃຕ້ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງອຸດສາຫະກຳເຊມີເຄີນ ສ່ວນຂອງອຸປະກອນນີ້ຈະເຕີບໂຕຕໍ່ໄປ. ການເລືອກເຄື່ອງເຢັນທີ່ເໝາະສົມແມ່ນການລົງທຶນທີ່ຍາວນານຕໍ່ອັດຕາຜະລິດ ແລະ ຕົ້ນທຶນດ້ານການດຳເນີນງານ.